Нанопоры из литографических машин ASML: новое применение в биомедицине

Литографические машины компании ASML, известные своим использованием в производстве полупроводников, обрели новое применение благодаря исследованиям IMEC. Специалисты обнаружили возможность создания нанопор — крошечных отверстий диаметром от нескольких до десятков нанометров, которые в 10 000 раз тоньше человеческого волоса. Эти нанопоры находят применение в биомедицине, включая секвенирование ДНК, разработку датчиков и доставку лекарств.

IMEC сумела адаптировать высокоразрешающую EUV-литографию для массового производства нанопор на 300-миллиметровых пластинах из нитрида кремния. Это открытие, представленное на международной конференции IEEE 2025, позволяет производить надежные и однородные массивы нанопор, что может привести к революции в диагностике, геномике и персонализированной медицине. Таким образом, использование литографических машин ASML не только расширяет их функциональность, но и способствует массовому производству нанопор, что может значительно изменить подход к медицинским тестам и хранению молекулярных данных.