Российские учёные разработают новое оборудование для литографии
Российские исследователи разработали обширную дорожную карту по созданию собственного оборудования для литографии, включая технологии экстремального ультрафиолета, с горизонтом до 2037 года. Проект был подготовлен Институтом физики микроструктур РАН и основывается на уникальных технических решениях, отличающихся от архитектуры мирового лидера ASML. Ключевые инновации включают использование гибридных лазеров, ксеноновых плазменных источников света и специальных зеркал из рутения и бериллия. Это позволит избежать проблем, связанных с повреждением шаблонов олова, а также уменьшить необходимость в иммерсионных жидкостях и сложной обработке. Работы будут проведены в
Read more